等离子光氧一体机是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
等离子光氧一体机去除污染物的原理：
等离子光氧一体机技术处理污染物的原理为：等离子光氧一体机在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，等离子光氧一体机适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理中的一项具有强优势的高，等离子体受到了化工废气治理方面的高度评价。
等离子光氧一体机降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。
等离子光氧一体机工业废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子分解且处理能耗低等特点，是目前大气污染治理中富有前景行之的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业VOC类废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。
